【摘 要】
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利用低电压注入可以在相同的温度下较传统高压PIII获得更高的注入剂量率,同时在注入脉冲过程中形成较薄的离子阵鞘层,以利于提高注入剂量均匀性。低压与高频注入相配合可获得
【机 构】
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哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室!150001,哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室!150001,哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室!150001,哈尔滨工业大学现代焊
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利用低电压注入可以在相同的温度下较传统高压PIII获得更高的注入剂量率,同时在注入脉冲过程中形成较薄的离子阵鞘层,以利于提高注入剂量均匀性。低压与高频注入相配合可获得合适的处理温度和注入剂量率。研究结果表明,经高频低压PIII处理后的SS304样品硬度明显提高;氮元素内扩散可达1.5μm,表面氮浓度接近20%。
The use of low-voltage injection at the same temperature than the traditional high-pressure PIII to obtain a higher injection dose rate, while the formation of the injection pulse during the formation of the thin ion sheath, in order to facilitate improved injection dose uniformity. Low-pressure and high-frequency injection can be obtained with the appropriate treatment temperature and injection dose rate. The results showed that the hardness of SS304 samples treated with high-frequency and low-pressure PIII significantly increased, the nitrogen diffusion reached 1.5μm and the surface nitrogen concentration was nearly 20%.
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