硅表面牺牲层技术

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【摘要】

：

着重介绍了硅ＭＥＭＳ加工技术中的表面牺牲层技术及其应用，并给出了我国ＭＥＭＳ发展的概况。 The surface sacrificial layer technology and its application in silicon MEMS processing

【作者】

：

郝一龙李志宏张大成武国英

【机构】

：

北京大学,北京大学,北京大学,北京大学

【出处】

：

电子科技导报

【发表日期】

：

1999年12期

【关键词】

：

硅表面表面牺牲层技术硅MEMS 加工技术多晶硅薄膜微机械技术加速度计机械结构淀积器件研究

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着重介绍了硅ＭＥＭＳ加工技术中的表面牺牲层技术及其应用，并给出了我国ＭＥＭＳ发展的概况。 The surface sacrificial layer technology and its application in silicon MEMS processing technology are emphatically introduced, and the general situation of MEMS development in our country is given.

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