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针对毫米波电路对大电流、高截止频率器件的要求，利用平坦化技术，设计并制作成功了结构紧凑的四指合成InGaAs／InP异质结双极晶体管．实验结果表明发射极的宽度可减小到1μm．Kirk电流可达到110mA，电流增益截止频率达到176GHz．这种器件有望在中等功率的毫米波电路中有所应用．
一种ft为176GHz、大电流多指结构的InGaAs／InP异质结双极晶体管
【摘 要】
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针对毫米波电路对大电流、高截止频率器件的要求，利用平坦化技术，设计并制作成功了结构紧凑的四指合成InGaAs／InP异质结双极晶体管．实验结果表明发射极的宽度可减小到1μm．Kirk电
【机 构】
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中国科学院微电子研究所微波器件与集成电路研究室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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2009年2期
【基金项目】
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The project is partly supported by the National Basic Research Program of China（ 2002CB311902 ）
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