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磁控溅射制备薄膜时，工作气体氩气的压强是一个非常重要的参量，氩气压的高低直接影响薄膜的结构形态，这在制备超薄多层膜过程中显示更为重要。
高频辅助溅射沉积及氩气压对Co／Cu磁性多层膜结构和性能的影响
【摘 要】
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磁控溅射制备薄膜时，工作气体氩气的压强是一个非常重要的参量，氩气压的高低直接影响薄膜的结构形态，这在制备超薄多层膜过程中显示更为重要。
【机 构】
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复旦大学三束材料改性国家?
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1997年5期
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