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介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法，热灯丝法，微波法，等离子体喷射法，火焰燃烧法。ＣＶＤ金刚石膜的应用。
化学气相沉积（CVD）金刚石薄膜的主要制备方法及应用
【摘 要】
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介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法，热灯丝法，微波法，等离子体喷射法，火焰燃烧法。ＣＶＤ金刚石膜的应用。
【机 构】
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河北省机电一体化中试基地
【出 处】
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河北省科学院学报
【发表日期】
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1999年3期
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