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研究设计一种以压电陶瓷为驱动器，柔性铰链机构为导轨的精密定位工作台。分析和计算柔性铰链微位移放大机构的位移放大倍数和静态刚度，建立精密定位工作台的输入输出方程，确定微定位工作台各自由度的变形量与压电陶瓷驱动器伸缩量之间的关系。最后使用ANSYS软件对微定位工作台的运动进行仿真，给出微动平台的运动范围。