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本发明涉及金属表面化学热处理技术领域，具体为一种硼碳氮三元共渗方法，将块状固态渗硼剂置于渗碳炉，与工件隔开放置，同时将碳、氮共渗液分别滴入渗碳炉，形成硼、碳、氮三元气相共渗，共渗温度780—880℃，共渗速度0．15-0．2mm／h，出炉油冷或水冷。本发明可以降低共渗温度及淬火温度，工件变形量小，适用于对尺寸精度要求较高的工、模具及高耐磨件，