微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究

来源 :现代科学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wlj190151

【摘要】

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采用MEMS(Microelectromechanical Systems)技术研制了镍(Ni)膜微桥结构试样,应用陶瓷压条为承力单元,与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合,解决了较宽Ni膜微桥加

【作者】

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周勇王明军杨春生陈吉安王莉丁桂甫张亚

【机构】

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上海交通大学微纳米科学技术研究院,中国科学院力学研究所

【出处】

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现代科学仪器

【发表日期】

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2004年4期

【关键词】

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Ni膜微桥 MEMS技术力学性能 Nickel film microbridge MEMS technology mechanical propertie

【基金项目】

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国家重点基础研究发展计划(973计划)

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采用MEMS(Microelectromechanical Systems)技术研制了镍(Ni)膜微桥结构试样,应用陶瓷压条为承力单元,与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合,解决了较宽Ni膜微桥加载问题.测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜微桥的杨氏模量及残余应力,其值分别为190.5GPa和146MPa,与应用纳米压痕仪直接测得的带有Si基底的Ni膜杨氏模量186.8±734 GPa相吻合.

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