【摘 要】
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扫描电镜在半导体工业、微机械、微电子、材料科学及生命科学中都有广泛的应用.在微米、纳米尺度的形态观测和表征方面,扫描电镜的图像分析系统发挥了重要的、不可替代的作用
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扫描电镜在半导体工业、微机械、微电子、材料科学及生命科学中都有广泛的应用.在微米、纳米尺度的形态观测和表征方面,扫描电镜的图像分析系统发挥了重要的、不可替代的作用.当需要利用图像系统对物体的二维尺度进行表征时,首先必须保证其测量结果是准确的,这就需要有统一的有证参考物质可对图像系统的放大倍率进行校准.由于多年来我国对各类小尺度(微米和纳米尺度)的标准样品未引起足够的重视,标准化工作近于空白,已严重地影响了纳米材料、微电子工业及生命科学等有关学科的发展.
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