In-Situ Observation of SiC Bulk Single Crystal Growth by XRD System

来源 :中国稀土学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhanglq

【摘要】

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In-situ analysis for SiC bulk single crystal growth was reported using vertical X-ray diffractometer system. A furnace for SiC sublimation growth combined with

【作者】

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Tomohisa Kato

【出处】

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中国稀土学报：英文版

【发表日期】

：

2006年z1期

【基金项目】

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This work was performed as a part of the METI NSS Program (Ultra-Low Loss Power Device Technology) supported by NEDO. The authors would like to thank Oyanagi N, Kahn M N, Kitou Y for valuable discussi

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In-situ analysis for SiC bulk single crystal growth was reported using vertical X-ray diffractometer system. A furnace for SiC sublimation growth combined with the XRD system which possessed three kinds of functions including topography, rocking curve mea

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