超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势

来源 :航空精密制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:scorpiokyan
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综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素,对重要因素目前的研究进展进行了分析;介绍了新型超精密光学抛光技术及其达到的水平;还提出了精密先学抛光的发展趋势. The factors influencing the precision and quality of precision optical polishing were summarized. The current research progress of important factors was analyzed. The new ultra-precision optical polishing technology and its achieved level were also introduced. The development trend of precision pre-polishing was also proposed.
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