【摘 要】
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本文基于 Ｃ Ｉ Ｆ 版图格式的数据结构，开发了一个高压功率器件的版图自动生成器，并利用该软件设计了一个具有双层浮空场板的高压功率 Ｌ Ｄ Ｍ Ｏ Ｓ的版图．通过实验测试，其结果达到了预先设
【机 构】
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电子科技大学微电子所!成都610054,电子科技大学微电子所!成都610054
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本文基于 Ｃ Ｉ Ｆ 版图格式的数据结构，开发了一个高压功率器件的版图自动生成器，并利用该软件设计了一个具有双层浮空场板的高压功率 Ｌ Ｄ Ｍ Ｏ Ｓ的版图．通过实验测试，其结果达到了预先设计 ６００ Ｖ 的要求．并且在器件单元横向尺寸优化值给定的情况下，大大地缩短了功率器件的设计周期
In this paper, based on the data structure of the C I F layout, an automatic layout generator for high voltage power devices was developed. With this software, a layout of high voltage power L D M O S with a double layer floating field plate was designed. Through the experimental test, the results reached the pre-designed 600 V requirements. And in the device unit lateral size optimization given given cases, greatly reducing the power device design cycle
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