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定量地分析了蚀刻衍射光栅(EDG)波分复用(WDM)器件的制作过程中存在的光栅槽面圆角、槽面倾斜以及槽面粗糙等工艺误差对器件性能、特别是插入损耗的影响.当圆角半径、槽面倾斜角和粗糙度分别为1 μm、1°和40 nm时,相应产生的损耗为1.7 dB、0.7 dB和1 dB.
工艺误差对EDG器件性能的影响
【摘 要】
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定量地分析了蚀刻衍射光栅(EDG)波分复用(WDM)器件的制作过程中存在的光栅槽面圆角、槽面倾斜以及槽面粗糙等工艺误差对器件性能、特别是插入损耗的影响.当圆角半径、槽面倾
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2002年12期
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