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磁控反应溅射沉积CrN薄膜的抗氧化性研究

来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xcumuhe

【摘 要】

：

通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了试样的表面形貌,进行了物相分析,研究了CrN薄膜的抗氧化性能,讨论了膜层的抗氧化行

【作 者】

：

李钦虎 王军 

【机 构】

：

扬州大学机械工程学院

【出 处】

：

表面技术

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

磁控溅射 CRN薄膜 抗氧化性 Magnetron sputtering  CrN film   Oxidation resistance 

【基金项目】

：

扬州大学校科研和教改项目

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通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了试样的表面形貌,进行了物相分析,研究了CrN薄膜的抗氧化性能,讨论了膜层的抗氧化行为和机制.结果表明:在500℃以下,CrN膜层具有良好的抗氧化性,能大大提高基体的抗氧化性能.当温度超过600℃时,由于膜层产生剥落而失去使用性能.

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