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重点介绍了国内外半导体器件制造工艺与器件可靠性的相关性报道:工艺缺陷、微缺陷、关键工艺对器件质量和可靠性的影响及其控制方法;还介绍了关键工艺控制点的确定及其参数控制范围以及生产高质量、高可靠性器件的工艺环境的控制要求.
半导体分立器件的可靠性工艺控制方法
【摘 要】
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重点介绍了国内外半导体器件制造工艺与器件可靠性的相关性报道:工艺缺陷、微缺陷、关键工艺对器件质量和可靠性的影响及其控制方法;还介绍了关键工艺控制点的确定及其参数控
【机 构】
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信息产业部电子第十三研究所,信息产业部电子第五研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2003年2期
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