【摘 要】
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用钛内扩散技术和常规光刻手段,研制出1.5μmLiNbO_3电光波导强度调制器。它由单模波导非对称Mach-Zehnder干涉仪和三电极共平面波导组成。干涉仪的两个臂长相差波导波长的四
【机 构】
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北方交通大学,中国科学院长春物理研究所,中国科学院长春物理研究所硕士研究生
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用钛内扩散技术和常规光刻手段,研制出1.5μmLiNbO_3电光波导强度调制器。它由单模波导非对称Mach-Zehnder干涉仪和三电极共平面波导组成。干涉仪的两个臂长相差波导波长的四分之一,使器件在最佳线性点工作,无需外加电偏压。集总调制和行波调制的理论带宽分别为1GHz和7.8GHz。对于集总器件,测量了调制特性,半波电压为9.5V,调制带宽为0.7GHz。
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