微梁谐振器中的空气阻尼

来源 :北京科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hydhdhfdhsdh

【摘要】

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为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响,基于Euler-Bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论,建立了考虑气体阻尼的梁振动方程,结合边界条件对方程进行了求解,得到了

【作者】

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冯闯赵亚溥刘冬青

【机构】

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中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京科技大学应用科学学院

【出处】

：

北京科技大学学报

【发表日期】

：

2007年8期

【关键词】

：

微谐振梁空气阻尼谐振频率品质因子 micro-beam resonator air damping resonant frequency quali

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为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响,基于Euler-Bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论,建立了考虑气体阻尼的梁振动方程,结合边界条件对方程进行了求解,得到了两种不同情况下气体阻尼对微梁谐振器的谐振频率和品质因子的影响.通过两种阻尼对谐振器影响的比较分析,指出在梁形状保持不变（长宽比和高宽比不变）情况下,微梁谐振器存在一个临界压膜厚度,此临界厚度可为器件的设计提供参考.

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