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微晶半导体在电子学及光学性质上既不同于非晶,又不同于普通的多晶材料。通常多制成微晶薄膜,其主要制备方法有等离子体化学沉积法,磁控溅射法、光化学沉积法等。鉴别微晶的主要方法是拉曼散射。有前途的应用领域是太阳电池、薄膜晶体管和非线性光学等。
微晶半导体材料的研究现状
【摘 要】
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微晶半导体在电子学及光学性质上既不同于非晶,又不同于普通的多晶材料。通常多制成微晶薄膜,其主要制备方法有等离子体化学沉积法,磁控溅射法、光化学沉积法等。鉴别微晶的
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1992年3期
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