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采用磁控溅射法制备了可铜化TiO2-Si3N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3N4复合玻璃涂层（TSCANZSLow-E玻璃），并对其微观结构和物理性能进行了测试。AFM分析发现，薄膜表面光滑平整，粗糙度Ra为0．323nm；XPS探测到膜层表面存在TiO2和Si3N4；四探针面电阻测试仪测定薄膜方阻Ra为8．81Ω/□，比辐射率值为0．108；光学性能分析显示可见光透过率达81％，在2500nm处的中远红外区反射率达80％；剥落实验证明薄膜与玻璃基底之间具有良好的附着性；钢化测试结果符合国