【摘 要】
:
利用直流反应磁控溅射在O2和Ar混合气氛下,在Si(111)衬底上沉积NiO薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜晶体结构及形貌进行分析,研究了氧含量和溅射气压对NiO薄
【机 构】
:
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都工业学院通信工程系
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目(511010281,中央高校基金资助项目(E022050205)
论文部分内容阅读
利用直流反应磁控溅射在O2和Ar混合气氛下,在Si(111)衬底上沉积NiO薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜晶体结构及形貌进行分析,研究了氧含量和溅射气压对NiO薄膜择优取向和表面形貌的影响.结果表明:低氧含量下,NiO(220)晶面择优生长,薄膜表面为典型的蠕状结构;较高氧含量下,薄膜择优(111)晶面生长,织构呈现有序状态;随着溅射气压的增高,择优取向先变差再变明显,薄膜晶粒先增大后减小.
其他文献
班级是学校对学生进行教育和教学工作的基层单位,班主任是班集体的组织者、领导者、管理者,是学生身心健康成长和各种素质得到培养的直接导师,是沟通学校教育、家庭教育、社会教
新《纲要》中指出:“向幼儿适当地进行民族文化教育,认识民族文化的优秀和丰富,从而培养幼儿爱家乡、爱民族、爱国家的美好情感。”中华民族的民间音乐是有中国特色的艺术,从目前
Jabber是一种用于在Internet上的任意两点之间进行实时消息和“到场”信息交换的XML开放协议。Jabber技术最初的应用是异步、可扩展的即时传信平台,以及提供与传统的IM系统(比
港湾是海洋资源的富集区,是海水增养殖,发展海洋产业的基地。本文以浙江省象山港、三门湾和乐清湾为例,分析了港湾区的海洋生物,海涂,潮汐能和港口资源的特征,对港湾区资源开发原则
抗磁物质处在磁场中时,在重力和抗磁力的作用下,会稳定悬浮,利用这个原理可以实现抗磁物质的捕获、移动等微操纵。本文详细介绍了抗磁悬浮的两个分类:传统的抗磁悬浮和磁阿基
在高中化学知识教与学的过程中,如何培养学生的研究性学习意识关系到一个学生今后能否在现有的知识基础上继续获得和构建该专业知识体系的问题关系到他(她)未来的创新和发展
1961年国际酶学委员会(Enzyme Committee,EC)根据酶所催化的反应类型和机理,把酶分成6大类:
综述了近年来超高频用Z型六角铁氧体材料的研究现状,着重讨论了Z型六角铁氧体的低温烧结及其应用。采用固相反应法制备的低温烧结Z型六角铁氧材料的磁导率较低(2~4),而溶胶-凝
在日本,将拥有悠久历史的“汉方药”(源自中国的中药)融合进西医治疗的范围越来越广泛。日本政府的实行计划和研究会的提议都在推动将中药有效地应用于缓解抗癌药副作用和治疗高
给出了农村劳动力流出,流入率的定义,计算了全国各省(市,区)的劳动力流出,流入率,分析了农村劳动力流出,流入率分布的三大特征,论证了农村劳动力流动的3个基本条件,即经济,文化和旅行能力