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采用直拉法（Czochralski method）生成了直径为100 mm、200 mm和300 mm的N型红外用锗单晶,研究了拉晶工艺参数对拉晶的影响,讨论了拉晶速度、成品率和单位质量锗单晶电耗与单晶直径的关系,并对不同直径单晶的晶帽差异进行分析。
大直径锗单晶制备工艺研究及其指标分析
【摘 要】
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采用直拉法（Czochralski method）生成了直径为100 mm、200 mm和300 mm的N型红外用锗单晶,研究了拉晶工艺参数对拉晶的影响,讨论了拉晶速度、成品率和单位质量锗单晶电耗与单晶
【机 构】
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昆明云锗高新技术有限公司
【出 处】
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云南冶金
【发表日期】
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2016年6期
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