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绝缘电介质层是氧等离子体反应器中的重要组成部分，高性能的电介质材料保证了氧等离子体反应器能够高效、稳定的运行。本文对氧化铝电介质材料的特性以及氧等离子体反应器长时间工作后电介质材料的特性变化进行了研究。结果表明，α-Al2O3电介质层表面光滑平整、无缺陷，相对介电常数约为9.79，具有较高的体积电阻率和表面电阻率，损耗因数很小，有利于氧等离子体反应器效能的提升；长时间工作后的α-Al2O3电介质层基底表面结构、相对介电常数与体积电阻率基本不变，但其表面会附着一层由316L不锈钢电极表面溅射产生的黄褐色固态