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随着人们对太阳能资源的开发和深入研究,作为其原材料供给的多晶硅行业也得到迅猛发展。在对多晶硅生产工艺改进的同时,其生产设备也得到相应的改进和更新。就改良西门子法多晶硅生产过程中的不同工序和不同工艺的主要生产设备进行探讨,比较其优缺点,并介绍相应的改进方法以获得更优的生产效率。
改良西门子法多晶硅生产工艺关键设备
【摘 要】
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随着人们对太阳能资源的开发和深入研究,作为其原材料供给的多晶硅行业也得到迅猛发展。在对多晶硅生产工艺改进的同时,其生产设备也得到相应的改进和更新。就改良西门子法多
【机 构】
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大连理工大学化工机械学院
【出 处】
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当代化工
【发表日期】
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2013年07期
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