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利用DSMC算法对微尺度平板附面层流动进行了数值模拟研究，分析了算法中3个主要特征参数：采样循环数、单位网格粒子数和子网格数对模拟结果的影响。分析结果表明，当采样循环数增加到一定程度后，计算结果趋于一致，考虑到计算机时，采样数取8左右为宜；单位网格粒子数过多或过少都会使计算机时增加，太少了还会影响计算精度，建议4～5个左右合适；子网格数对运算时间影响很大，分析认为每个网格内的子网格数为4时最为节约计算时间。最后通过微通道内流动计算进一步验证了本文参数选择方法的可行性。