金属—铁电薄膜—半导体结构的电容—电压特性理论分析

来源 :湖北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:awper1985
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用半导体理论讨论了金属-铁电薄膜-半导体(MFS)结构的电容-电压(C-V)特性,其结果表明:在n型Si基片上,理想MFS的C-V曲线为逆时针回滞,有载流子注入的MFS结构的C-V曲线为顺时针回滞,这与实验结果是一致的。
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