用磁控溅射法制作电磁波屏蔽复合材料

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mfktadxxxa
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阐述了用磁控溅射法制作电磁波屏蔽复合材料的工艺过程,对所制作的材料进行了屏蔽性能的测试和理论分析,给出了屏蔽效果与材料结构,膜厚等关系的定量说明。
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