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阐述了用磁控溅射法制作电磁波屏蔽复合材料的工艺过程，对所制作的材料进行了屏蔽性能的测试和理论分析，给出了屏蔽效果与材料结构，膜厚等关系的定量说明。
用磁控溅射法制作电磁波屏蔽复合材料
【摘 要】
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阐述了用磁控溅射法制作电磁波屏蔽复合材料的工艺过程，对所制作的材料进行了屏蔽性能的测试和理论分析，给出了屏蔽效果与材料结构，膜厚等关系的定量说明。
【机 构】
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吉林大学材料科学系
【出 处】
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吉林大学自然科学学报
【发表日期】
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1996年3期
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