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随着IC电路技术的快速发展，其设计制造技术也越来越复杂。对如何检测、监控工艺制造过程（包括设计）中的物理、工艺、器件等特性、参数，是本文所介绍的主要内容。
IC工艺流程检测
【摘 要】
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随着IC电路技术的快速发展，其设计制造技术也越来越复杂。对如何检测、监控工艺制造过程（包括设计）中的物理、工艺、器件等特性、参数，是本文所介绍的主要内容。
【机 构】
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中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡,214035
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1998年Z1期
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