溶胶—凝胶法制备SnO2薄膜的研究

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利用金属醇盐以溶胶-凝胶方法制备In掺杂SnO2薄膜,并用正交试验法系统地研究各种因素对溶胶稳定性和薄膜成膜性的影响.研究表明:溶液配比、加水量、催化剂是制备良好成膜性溶胶的关键因素,适当的稀释倍数对抑制膜层开裂有明显作用.In3+离子的注入极大地提高了薄膜的导电性.
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