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掺铝P型单晶硅尾料真空冶炼提纯研究(英文)
掺铝P型单晶硅尾料真空冶炼提纯研究(英文)
来源 :中山大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:qwfyhwl
【摘 要】
:
利用真空蒸发和定向凝固技术去除掺铝P型单晶硅尾料中铝杂质的方法,通过晶相仪、EBSD和ICP-AES检测,被证实是非常有效的。铝含量检测结果表明:提纯后的铝含量沿多晶硅铸锭纵
【作 者】
:
李志红
马文会
梅向阳
杨斌
【机 构】
:
昆明理工大学真空冶金国家工程实验室,昆明冶金高等专科学校
【出 处】
:
中山大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2009年S2期
【关键词】
:
尾料
多晶硅
定向凝固
真空蒸发
tailing materialmulti-crystalline silicondirectional solidifica
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利用真空蒸发和定向凝固技术去除掺铝P型单晶硅尾料中铝杂质的方法,通过晶相仪、EBSD和ICP-AES检测,被证实是非常有效的。铝含量检测结果表明:提纯后的铝含量沿多晶硅铸锭纵向由下到上逐渐增高,且总量较提纯前有较大幅度的降低。
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