具有激振和测振的新型压电微悬臂梁设计

来源 :复旦学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mengqingwang

【摘要】

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设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸（长×宽×厚）为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时

【作者】

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王锡明周嘉黄宜平

【机构】

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合肥学院机械系,复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室微电子学系

【出处】

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复旦学报：自然科学版

【发表日期】

：

2010年6期

【关键词】

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压电微悬臂梁谐振传感器优化设计模拟锆钛酸铅 piezoelectric microcantilever resonant sensor optimiz

【基金项目】

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国家自然科学基金（60876085）资助项目

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设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸（长×宽×厚）为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时实现激振和测振功能的上电极形状;分析了上电极与信号传递函数值的关系,并对微悬臂梁进行了静态响应、模态分析和谐响应分析.可以看到采用Ⅱ型上电极设计的微悬臂梁既可以实现激振和测振功能,同时具有最佳的静态灵敏度和较高的品质因子,为优化的设计结构.

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