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本文简述了几种微光学器件的研制及其应用前景。讨论了微光学在促进光学传感器小型化方面的作用，展望了微光学、微电子与微机械三者组合集成的发展趋势。
微光学器件及其应用前景
【摘 要】
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本文简述了几种微光学器件的研制及其应用前景。讨论了微光学在促进光学传感器小型化方面的作用，展望了微光学、微电子与微机械三者组合集成的发展趋势。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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