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本文讨论了对积分散射测量的超光滑表面均方粗糙度进行修正的问题，
超光滑表面粗糙度测量的研究
【摘 要】
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本文讨论了对积分散射测量的超光滑表面均方粗糙度进行修正的问题，
【机 构】
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国防科技大学应用物理系
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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1998年5期
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