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以醋酸锌水溶液为前驱体溶液，使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜。经X射线衍射（XRD），扫描电镜（SEM）分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。测试结果表明，ZnO薄膜为六角纤锌矿结构，在450～500℃下制备的薄膜显示出良好的结晶性能，并且沿（002）晶面择优取向生长，薄膜具有优良的均匀性和致密性。同时，制备得到的薄膜在可见光区也表现出80％以上的高透过率。