【摘 要】
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压电陶瓷致动器具有体积小、推力大、高频响和分辨率高等特点,广泛应用于精密制造、光学仪器、振动控制等领域。为提高压电陶瓷型快速倾斜镜的控制精度和稳定性,根据压电陶瓷
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所大气成分与光学重点实验室
【基金项目】
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脉冲功率激光技术国家重点实验室开放基金项目(SKL2013KF01)
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压电陶瓷致动器具有体积小、推力大、高频响和分辨率高等特点,广泛应用于精密制造、光学仪器、振动控制等领域。为提高压电陶瓷型快速倾斜镜的控制精度和稳定性,根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,设计了一种基于高压运算放大器PA96的驱动电源。介绍了该电源电路的基本原理,并对放大器的外围电路进行了稳定性设计。最后通过实验测试表明,该电源线性度大于99%、静态纹波小于10 mV、动态性能稳定,能够达到自适应光学系统中快速倾斜镜的控制要求。
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