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采用溶胶－凝胶法制备了纳米ＴｉＯ２薄膜，ＸＲＤ研究表明，纳米ＴｉＯ２薄膜随着热处理温度的升高，发生了从非晶状态向锐钛矿相的转变，最后转化为金红石相，ＵＶ－ＶＩＳ、俞 米ＴｉＯ２薄膜的致密度与成膜条件有关，Ｒａｍａｎ表明，随热处理温度的升高，纳米ＴｉＯ２薄膜的振动峰位发生移动，并且谱带明显宽化，表现出尺寸效应。