【摘 要】
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通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值
【机 构】
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兰州真空设备有限责任公司 甘肃兰州730050
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通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值,同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。
Through the analysis of gas diffusion pump suction rate, gas molecule average thermal velocity and gas flow guidance in molecular flow regime, it is pointed out that the oil diffusion pump is selective to the pumping rate of different gases, and the pump performance for different gases and air The calculated value of the pumping rate ratio also points out that the regulation constant of the ionization gauge is related to the gas type.
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