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采用射频磁控反应溅射法结合热退火处理技术制备纳米硅镶嵌氮化硅（ncSi-SiNx）复合薄膜。通过X射线能谱（EDS）、X射线衍射仪（XRD）的测定,对薄膜进行了结构及所包含硅晶粒大小的表征。采用皮秒激光器运用单光束Z扫描技术开展了对该复合薄膜的非线性光学性质的研究,测得其三阶非线性折射率系数和非线性光吸收系数分别为10-8esu和10-8m/W量级,并将薄膜这种三阶光学非线性的增强归因于量子限域效应。