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利用密度泛函理论平面波赝势法，结合广义梯度近似构建了纯净ZnO和空位ZnO的超晶胞模型，利用第一性原理进行计算。结果表明，纯净ZnO中O原子或者zn原子的减少都会使ZnO的禁带宽度增大，O空位是施主缺陷，Zn空位是受主缺陷。O原子的减少将使Zn3d电子态不再发生能级分裂，同时氧空位的增多将导致ZnO电导率下降。