【摘 要】
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单晶硅广泛应用于光电系统领域,在激光作用下易于造成热损伤,其性能将发生显著变化。针对高精激光武器和激光精细加工产业的迫切需求,从仿真和实验两方面,研究脉冲串毫秒激光
【机 构】
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吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院,吉林省量子信息技术工程实验室,长春理工大学光电信息学院商学分院
【基金项目】
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国家自然科学基金青年科学基金项目(61905089),吉林省教育厅“十三五”科学研究规划项目(JJKH20190765KJ),吉林工程技术师范学院博士科研启动经费专项(BSKJ201824),吉林工程技术师范学院校级一般项目(XYB201819)
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单晶硅广泛应用于光电系统领域,在激光作用下易于造成热损伤,其性能将发生显著变化。针对高精激光武器和激光精细加工产业的迫切需求,从仿真和实验两方面,研究脉冲串毫秒激光作用单晶硅的热损伤问题,分析激光能量密度、脉冲个数等与热损伤的重要特性参数温度的关系,探索损伤规律和机理。基于热传导方程建立毫秒脉冲激光辐照单晶硅的热损伤模型,利用有限元、有限差分方法求解脉冲串毫秒激光作用单晶硅的温度场;模型中引入等效比热容的方法处理熔融和汽化后的相变问题,实现了对模型温升的修正。构建毫秒脉冲激光损伤单晶硅的温度测量系统,利用
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