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基于Simul8的半导体生产线建模关键技术研究
基于Simul8的半导体生产线建模关键技术研究
来源 :计算机工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aa87850011
【摘 要】
:
在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想,给出了各自基于Simu18的实现方法。对于高度复杂的动态加工区,给出了3种解决方法,
【作 者】
:
方明
乔非
刘文胜
许潇红
【机 构】
:
同济大学电子与信息工程学院,上海贝岭股份有限公司
【出 处】
:
计算机工程
【发表日期】
:
2006年19期
【关键词】
:
建模仿真
动态加工区
二级缓冲区
存储空间
Modeling and simulation Dynamic process region Secondary b
【基金项目】
:
国家“973”计划基金资助项目(2002CB312202),国家自然科学基金资助项目(60374005)
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在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想,给出了各自基于Simu18的实现方法。对于高度复杂的动态加工区,给出了3种解决方法,从仿真速度上比较其优劣。仿真应用表明,提出的半导体生产线分类方法有效改进了仿真的性能,使仿真指导生产具有可行性。
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