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在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中，提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想，给出了各自基于Simu18的实现方法。对于高度复杂的动态加工区，给出了3种解决方法，从仿真速度上比较其优劣。仿真应用表明，提出的半导体生产线分类方法有效改进了仿真的性能，使仿真指导生产具有可行性。
基于Simul8的半导体生产线建模关键技术研究
【摘 要】
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在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中，提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想，给出了各自基于Simu18的实现方法。对于高度复杂的动态加工区，给出了3种解决方法，
【机 构】
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同济大学电子与信息工程学院,上海贝岭股份有限公司
【出 处】
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计算机工程
【发表日期】
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2006年19期
【基金项目】
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国家“973”计划基金资助项目（2002CB312202）,国家自然科学基金资助项目（60374005）
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