RF磁控溅射条件对ZnO薄膜结构的影响

来源 :第四届全国光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：harrietgu

【摘要】

：

采用RF磁控溅射法在Si(001)衬底上制备ZnO薄膜.研究发现了工作中溅射频率、氧气和氩气流量比对样品结构的影响.样品的XRD图谱显示了强的(002)ZnO衍射峰,表明ZnO薄膜为c轴高取向生长.比较不同条件下制备的ZnO薄膜,研究发现当氧气和氩气的流量比相同时,随着溅射功率的增加,样品的(002)衍射峰增强,半高全宽较小.而当溅射功率相同时,随着氧气和氩气的流量比增加,样品的(002)衍射峰也

【作者】

：

张源涛殷宗友杨树人马艳杜国同

【机构】

：

吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家重点实验室(长春)

【出处】

：

第四届全国光学学术会议

【发表日期】

：

2002年12期

【关键词】

：

ZnO薄膜 RF磁控溅射 XRD谱薄膜结晶性

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