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MBE生长Zn1—xCdxSe/ZnSe超晶格的SIMS和AES谱
MBE生长Zn1—xCdxSe/ZnSe超晶格的SIMS和AES谱
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xdbgm520
【摘 要】
:
本文简要叙述了运用MBE技术成功生长出Zn1-xCdxSe/ZnSe超晶格的一些工艺和渗数,并对不同的样品进行了SIMS和AES的测试,首次测得了这种材料的元素分布,结果显示ZnCdSe/ZnSe超晶格有良好的纵向元素分布。
【作 者】
:
叶海
陈云良
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
MBE生长
硒化锌
ZNCDSE
超晶格
SIMS
AES谱
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文简要叙述了运用MBE技术成功生长出Zn1-xCdxSe/ZnSe超晶格的一些工艺和渗数,并对不同的样品进行了SIMS和AES的测试,首次测得了这种材料的元素分布,结果显示ZnCdSe/ZnSe超晶格有良好的纵向元素分布。
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