CVD人造金刚石薄膜生长机理探讨

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjie16
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本文依据实验数据,提出了 CVD 金刚石薄膜生长机理方面的几点看法。认为甲烷的充分离解不利于金刚石生长,生长金刚石的活性物质主要是活性络合物(H…H…CH_3)~*。
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