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本文叙述了垂直腔表面发射激光器的结构和制作工艺及其封装技术.
垂直腔表面发射激光器的结构工艺与封装技术
【摘 要】
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本文叙述了垂直腔表面发射激光器的结构和制作工艺及其封装技术.
【机 构】
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信息产业部电子第44研究所
【出 处】
：
电子与封装
【发表日期】
：
2002年3期
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