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激光触发气体间隙放电主要有3个发展阶段:气体分子吸收激光而被激发和电离;其次,自由电子和其它带电粒子在电场作用下发生漂移运动,它们与中性粒子间引起碰撞,并产生电离、俘获和复合等化学反应过程;漂移运动的电子和其它带电粒子受到电场的欧姆加热,再经过碰撞作用,气体温度升高,逐渐发生热电离。一般,气体温度接近约10^4K,它的导电率迅速增加,导致开关闭合。