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<正> 1.前言空间并行性、高速性、非接触性等都非常好的光技术,在图像、存储、光通信、测量等领域发挥了很大作用。本专集推出了以超大规模集成电路(LSI)制造技术为基础、应用立体微加工技术“微机械加工”的光微系统。
光机电微系统概论（上）
【摘 要】
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<正> 1.前言空间并行性、高速性、非接触性等都非常好的光技术,在图像、存储、光通信、测量等领域发挥了很大作用。本专集推出了以超大规模集成电路(LSI)制造技术为基础、应
【机 构】
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日本东北大学大学院工学研究所
【出 处】
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红外
【发表日期】
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1999年2期
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