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近年来,随着机器的小型化发展,石英晶振生产企业也更加关注石英晶振精度的提升。而在石英晶振生产过程中,频率微调是影响石英晶振精度的重要因素。文章结合石英晶振频率微调机理及离子蚀刻技术特性,研究了离子蚀刻的石英晶振频率微调技术,重点解决了离子蚀刻后数秒内频率偏移问题,提出了具体的处理方法,以期为石英晶振精度的提升提供可行性方案。