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CVD技术的研究与进展
CVD技术的研究与进展
来源 :陕西国防工业职业技术学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mmlovejj
【摘 要】
:
化学气相沉积是一种材料表面强化新技术,本文论述了化学气相沉积(CVD)技术的基本原理、特点和最新发展起来的具有广泛应用前景的CVD新技术,同时分析了化学气相沉积技术的发展
【作 者】
:
赵峰
杨艳丽
【机 构】
:
陕西国防工业职业技术学院
【出 处】
:
陕西国防工业职业技术学院学报
【发表日期】
:
2009年3期
【关键词】
:
化学气相沉积
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化学气相沉积是一种材料表面强化新技术,本文论述了化学气相沉积(CVD)技术的基本原理、特点和最新发展起来的具有广泛应用前景的CVD新技术,同时分析了化学气相沉积技术的发展趋势,并展望其应用前景。
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