紫外脉冲激光沉积法制备Pb（Ta0.05Zr0.48Ti0.47）O3薄膜的铁电性质

来源 :材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zw244942568

【摘要】

：

用紫外脉冲激光沉积方法在Ｐｔ／ＴｉＯ２／ＳｉＯ２／Ｓｉ（００１）衬底上制备了Ｌａ１－ｘＳｒｘＣｏＯ３／Ｐｂ（Ｔａ０．０５Ｔｉ０．４７）Ｏ３（ＰＴＺＴ）／Ｌａ１－ｘＳｒｘＣｏＯ３异质结构薄膜。发现底电极Ｌａ０．２５Ｓｒ０．７５ＣｏＯ３可以诱导ＰＴＺＴ薄膜沿（００１）方向取向生长。在５００ｋＨｚ和５Ｖ的工作电压下铁电电容器Ｌａ０．２５Ｓｒ０．７５ＣｏＯ３／ＰＴＺＴ／Ｌａ０．２５Ｓｒ０．７５ＣｏＯ３经过５×１０＾１０次反转之后，仍保持其初始电极化的９６％。此异

【作者】

：

朱敏殷江

【机构】

：

镇江师专物理系,南京大学固体微结构物理国家重点实验室

【出处】

：

材料科学与工程

【发表日期】

：

2000年4期

【关键词】

：

脉冲激光沉积铁电薄膜疲劳特性钙钛矿型薄膜 pulsed laser deposition ferroelectric f€

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