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主轴热误差是数控机床的主要热误差源，本文提出了一种使用三路单光束干涉仪(SBI3)进行机床主轴热误差的非接触式实时测量方法，可以快速准确地测量主轴热误差。实验结果表明，所测立式加工中心主轴热误差沿Z轴方向最大，约为50 μm，测量误差约为1.0 μm。
基于单光束干涉仪的机床主轴热误差实时测量
【摘 要】
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主轴热误差是数控机床的主要热误差源，本文提出了一种使用三路单光束干涉仪(SBI3)进行机床主轴热误差的非接触式实时测量方法，可以快速准确地测量主轴热误差。实验结果表明，所测
【机 构】
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清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,清华大学制造工程研究所
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家"211"工程建设项目
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